11:00 〜 11:15 [21a-W541-8] 過渡容量測定によるホモエピタキシャル成長n型GaNの深い準位密度のウェハ面内マッピング評価 〇堀田 昌宏1、成田 哲生2、加地 徹2、上杉 勉2、須田 淳1 (1.京大院工、2.豊田中研)