13:30 〜 15:30 △ [20p-P9-17] InGaAsSb/InP DHBTにおけるベースコンタクト抵抗低減化手法 〇星 拓也1、柏尾 典秀2、白鳥 悠太1、杉山 弘樹1、栗島 賢二1、井田 実1、松崎 秀昭1 (1.NTT先端集積デバイス研、2.NTTデバイスイノベーションセンタ)