16:00 〜 16:15 △ [20p-H103-11] 軟X線照射によるSi含有水素化DLC膜の膜改質 〇(M1C)田中 祥太郎1、長谷川 孝行1,2、岡田 真1、松井 真二1、神田 一浩1 (1.兵県大高度研、2.合同会社シンクロトロンアナリシスLLC)