14:45 〜 15:00 △ [20p-S221-5] DMAHを用いた原子層堆積によるAl2O3誘電膜の形成 〇吉嗣 晃治1、石河 泰明1、高橋 清2、浦岡 行治1 (1.奈良先端大、2.日本アルキルアルミ)