15:15 〜 15:30
〇原田 大成1、我喜屋 風太1、安次富 卓哉1、岡田 竜弥1、野口 隆1、野田 勘治2、諏訪 明2,3、池上 浩3、奥山 哲雄4 (1.琉球大工、2.ギガフォトン、3.九州大シ、4.東洋紡)
原田 大成
発表者・著者、共著者
2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:45 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
15:30 〜 15:45
〇原田 大成1、安次富 卓哉1、岡田 竜弥1、野口 隆1、西方 靖2、太田 淳2 (1.琉球大学工、2.アルバック(株))