11:00 〜 11:15 [22a-W611-8] 大気圧低温プラズマを用いたレジストの除去 高井 智基1、〇山本 雅史1、鹿間 共一1、長岡 史郎1、西山 聖2、堀邊 英夫2 (1.香川高専、2.大阪市大)
11:15 〜 11:30 △ [22a-W611-9] 水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性 〇山本 雅史1、梅本 宏信2、大平 圭介3、鹿間 共一1、西山 聖4、堀邊 英夫4 (1.香川高専、2.静大、3.北陸先端大、4.大阪市大)