10:15 〜 10:30 [20a-S422-6] FinFETエクステンションへの注入イオン種とGIDLの関係 〇松川 貴1、大塚 慎太郎1、森 貴洋1、森田 行則1、柳 永勛1、大内 真一1、更田 裕司1、右田 真司1、昌原 明植1 (1.産総研)