16:45 〜 17:00
〇岡田 直也1,2、内田 紀行2、金山 敏彦2 (1.JSTさきがけ、2.産総研)
岡田 直也
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 13:45 〜 18:15 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月19日(土) 13:45 〜 18:15 S423 (南4号館)
16:45 〜 17:00
〇岡田 直也1,2、内田 紀行2、金山 敏彦2 (1.JSTさきがけ、2.産総研)