17:30 〜 17:45
〇関 健斗1、永瀬 和郎2、廣芝 伸哉1、中川 勝1、中村 貴宏1 (1.東北大多元研、2.(株)ミノグループ)
関 健斗
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 13:30 〜 18:00 S224 (南2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 7 ビーム応用
- | 7.3 微細パターン・微細構造形成技術
2016年3月19日(土) 13:30 〜 18:00 S224 (南2号館)
17:30 〜 17:45
〇関 健斗1、永瀬 和郎2、廣芝 伸哉1、中川 勝1、中村 貴宏1 (1.東北大多元研、2.(株)ミノグループ)