14:15 〜 14:30
〇嶋田 航大1、譚 ゴオン1、野沢 靖久1、浦上 達宣2、小山 浩司3、三田 正弘4、金子 智5,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大、2.三井化学、3.並木精密宝石、4.協同インターナショナル、5.神奈川県産技センター)
嶋田 航大
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 13:30 〜 18:00 S224 (南2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 7 ビーム応用
- | 7.3 微細パターン・微細構造形成技術
2016年3月19日(土) 13:30 〜 18:00 S224 (南2号館)
14:15 〜 14:30
〇嶋田 航大1、譚 ゴオン1、野沢 靖久1、浦上 達宣2、小山 浩司3、三田 正弘4、金子 智5,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大、2.三井化学、3.並木精密宝石、4.協同インターナショナル、5.神奈川県産技センター)