16:30 〜 16:45
〇鈴木 陽洋1、中塚 理1、坂下 満男1、財満 鎭明1,2 (1.名古屋大院工、2.名古屋大未来研)
鈴木 陽洋
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 13:45 〜 18:15 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月19日(土) 13:45 〜 18:15 S423 (南4号館)
16:30 〜 16:45
〇鈴木 陽洋1、中塚 理1、坂下 満男1、財満 鎭明1,2 (1.名古屋大院工、2.名古屋大未来研)