16:30 〜 16:45 [20p-S422-11] 金属/Ge接合及びn+/Ge接合を用いたGeトンネルFETの作製と評価 〇山本 圭介1、岡本 隼人2、王 冬2、中島 寛1 (1.九大産学連携センター、2.九大総理工)