16:30 〜 16:45
〇陳 訳1、岡田 竜弥1、野口 隆1、マッツァムト フルビオ2、ヒュエット カリム2 (1.琉球大工、2.ｽｸﾘｰﾝｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀ(株))
陳 訳
発表者・著者、共著者
2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:45 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:45 S423 (南4号館)
16:30 〜 16:45
〇陳 訳1、岡田 竜弥1、野口 隆1、マッツァムト フルビオ2、ヒュエット カリム2 (1.琉球大工、2.ｽｸﾘｰﾝｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀ(株))