寺西美波

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発表者・著者、共著者

2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)

一般セッション(ポスター講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[21p-P17-1~26] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

16:00 〜 18:00

△ [21p-P17-19] 電解金めっきで作製したTi/Au微小カンチレバーの構造安定性

〇寺西美波^1,2、Chang Tso-Fu Mark^1,2、Chen Chun-Yi^1,2、小西敏文³、町田克之^1,2,3、年吉洋^2,4、山根大輔^1,2、益一哉^1,2、曽根正人^1,2 (1.東工大、2.JST-CREST、3.NTT AT、4.東大)