東清一郎

→ Google ScholarでSeiichiro Higashiを検索

座長等

2016年3月20日(日) 13:45 〜 18:45 S423 (南4号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20p-S423-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

東清一郎(広島大)、原明人(東北学院大)