[19a-H121-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-H121-2] RF加熱式HVPE法を用いたサファイア基板上へのAlN成長

〇山下 泰弘¹、三宅 秀人^1,2、平松 和政¹ (1.三重大・院工、2.三重大・地域イノベ)

キーワード：窒化アルミニウム、ハイドライド気相成長