[19a-H121-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-H121-4] ハイドライド気相成長におけるGaN選択成長の
ファセット形状のストライプマスク周期依存性

〇河原 慎¹、行實 孝太¹、松原 徹¹、板垣 憲広¹、岡田 成仁¹、山根 啓輔²、只友 一行¹ (1.山口大学院理工、2.豊橋技術科学大)

キーワード：窒化ガリウム、ハイドライド気相成長