[19p-H137-1~17] 7.1 X-ray technologies

[19p-H137-17] Diagnostics of LPP-EUV source plasmas using collective Thomson scattering

〇Hiroaki Tomuro¹, Tatsuya Yanagida¹, Kouichiro Kouge¹, Georg Soumagne¹, Yasunori Wada¹, Masahito Kunishima¹, Takeshi Kodama¹, Kentaro Tomita², Yuta Sato², Toshiaki Eguchi², Syouichi Tsukiyama², Kiichiro Uchino² (1.Gigaphoton Inc., 2.Kyushu Univ.)

Keywords:EUV source,Laser Produced Plasma,Spectrometry

ギガフォトンではCE改善のための産学連携の共同研究を積極的に推進しており、そのひとつが協同的トムソン散乱計測システムの開発である。この方法を使用した計測システムの開発により、それまで困難であった、サイズ<1 mm、寿命<100 ns程度のSnプラズマのパラメータ診断が可能となった。
ギガフォトンではEUV発光メカニズムを解明し、プリパルス技術を最適化することを目的として、前述のシステムにより、Snプラズマのn_e、T_eの空間分布とその時間発展の計測、及びその入射レーザエネルギーとの相関を検証した。本件はその結果を報告する予定である。