2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

合同セッションK » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2016年3月19日(土) 16:00 〜 18:00 P12 (屋内運動場)

16:00 〜 18:00

[19p-P12-14] 短時間アニールによるZnO系導電膜の低抵抗化

〇(M1)杉浦 怜1、宮尾 信行1、正力 幹也1、舩木 修平1、山田 容士1 (1.島大総理工)

キーワード:透明導電膜、酸化亜鉛、アニール