[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-14] 短時間アニールによるZnO系導電膜の低抵抗化

〇(M1)杉浦 怜¹、宮尾 信行¹、正力 幹也¹、舩木 修平¹、山田 容士¹ (1.島大総理工)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、アニール