[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-20] 1 mmチャネル長酸化物IGZO自己整合縦形トランジスタ

〇栗原 史昂¹、中 茂樹¹、岡田 裕之¹ (1.富山大学)

キーワード：縦形薄膜トランジスタ、自己整合、酸化物半導体