[19p-S011-1~11] 発光イメージングが切り拓く半導体結晶・デバイス評価の明るい未来

[19p-S011-8] 時間空間分解カソードルミネッセンスによるⅢ族窒化物半導体の評価

〇秩父 重英¹、山崎 芳樹¹、小島 一信¹ (1.東北大多元研)

キーワード：窒化ガリウム、時間空間同時分解計測

発光イメージングの観点からⅢ族窒化物半導体の時間空間同時分解カソードルミネッセンス (STRCL)計測例を紹介する。