[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-1] PS-block-PMMAの選択的有機-無機ハイブリッド化 ～Semi-static mode とcontinuous flow modeでの比較～

〇廣芝 伸哉¹、中川 勝¹ (1.東北大　多元研)

キーワード：原子層堆積 (ALD)、逐次浸透合成 (SIS)、ブロック共重合体

本研究では逐次浸透合成（SIS）で用いられるsemi-static mode（SSM）と原子層堆積（ALD）で用いられるcontinuous flow mode（CFM）によりPS-block-PMMAの有機-無機ハイブリッド化を行った。本報告ではモードの違いによる有機-無機ハイブリッド化された形成されるナノ構造体の形状の違いについて報告する。