[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-10] 熱ナノインプリントにおける樹脂中での応力緩和の検討

〇(B)飯田 達矢¹、安田 雅昭¹、川田 博昭¹、平井 義彦¹ (1.大府大工)

キーワード：ナノインプリント、応力緩和、配向