[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-13] ナノインプリントにおける離型力及び欠陥率のモールド剛性依存性

〇中村 直登¹、フロリアン カービン²、川田 博昭¹、平井 義彦¹ (1.大府大、2.フラ国高電子応用大)

キーワード：ナノインプリント、離型、剛性

ナノイン金型（モールド）の剛性が、離型に与える影響について注目する。プリントにおいて、離型プロセスで発生する欠陥発生のメカニズムの解明は，材料・プロセスの最適化に重要である。ここでは、実験では、基板の剛性を変化させることで、モールドとの相対的な撓みを変化させ、その時の離型に要する力と欠陥率を検証する。