[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-16] 光ナノインプリントリソグラフィを目指したレーザー加工による光硬化性液体塗布用孔版の作製

〇関 健斗¹、永瀬 和郎²、廣芝 伸哉¹、中川 勝¹、中村 貴宏¹ (1.東北大多元研、2.(株)ミノグループ)

キーワード：レーザー孔空け加工、光ナノインプリントリソグラフィ、スクリーン印刷

当研究グループでは、独自に開発した高粘度光硬化性液体を、スクリーン印刷法によりモールドのパターン粗密に応じて基板上に位置選択的に塗布することで、バブル欠陥フリー光ナノインプリントによる微細構造作製の際の残膜厚均一化に効果があることを見出している。本研究では、機械的ならびに化学的特性に優れるポリイミドフィルムを対象としたピコ秒パルスレーザー加工により、光硬化性液体の吐出量制御に向けたスクリーン印刷用孔版の作製を試みたので報告する。