[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-S224-2] 熱アニール法によるポリスチレンとポリジメチルシロキサンからなるブロック共重合体のランダム配向面内シリンダ構造の配向秩序解析

〇山口 徹¹、藤原 聡¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：リソグラフィ、ブロック共重合体、自己組織化