[19p-S224-1~17] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

△ [19p-S224-4] 熱ナノインプリント一括転写プロセスを用いた原子ステップポリマー基板上への金ナノ粒子の配列パターン作製

〇嶋田 航大¹、譚 ゴオン¹、野沢 靖久¹、浦上 達宣²、小山 浩司³、三田 正弘⁴、金子 智^5,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大、2.三井化学、3.並木精密宝石、4.協同インターナショナル、5.神奈川県産技センター)

キーワード：熱ナノインプリント、金ナノ粒子、原子ステップパターン