[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

[19p-W621-3] フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたプラズマエッチングにおける基板表面温度測定

〇(D)中崎 暢也¹、福島 大介¹、宮田 浩貴¹、津田 博隆¹、鷹尾 祥典¹、江利口 浩二¹、斧 高一¹ (1.京大院工)

キーワード：プラズマエッチング、基板表面温度測定、フーリエ変換赤外吸収分光法