[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

△ [19p-W621-9] ガラスの表面微細加工における金属添加物による影響の解析

〇(M1)吉武 尚輝¹、石川 健治¹、関根 誠¹、竹田 圭吾¹、近藤 博基¹、堀 勝¹ (1.名大院工)

キーワード：エッチング、ガラス

ガラス製のµTAS(Total Analytical System)には多くの利点があり、反応性イオンエッチングによる微細加工が要求されている。しかし、ガラス硝材の種類に依存して加工形状が異なり、ナノメータースケールの制御が困難となってきている。そこで本研究では、金属添加物がガラスの加工形状に与える影響を調べたので報告する。