[19p-W621-1~12] 8.4 Plasma etching

[19p-W621-8] Evaluation of plasma resistance of YOF ceramics

〇Toru Tsunoura¹, Katsumi Yoshida¹, Toyohiko Yano¹ (1.Tokyo Tech.)

Keywords:YOF,Plasma irradiation,Corrosion resistant materials

YOFセラミックスは、半導体製造装置向けの耐プラズマ材料として、構造材料およびコーティング材料への適用が期待されている。本研究では、YOFの緻密なバルク体を作製し、フッ素系プラズマ照射を行った。その結果、従来材料であるイットリアと比較して、YOFセラミックスは優れた耐食性を示した。