2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価,不純物・結晶欠陥

2016年3月20日(日) 09:30 〜 12:45 H113 (本館)

沓掛 健太朗(東北大)、永井 勇太(グローバルウェーハズ・ジャパン)

12:15 〜 12:30

[20a-H113-11] 平行デュアルレーザビーム法による自由キャリアのバルク寿命評価: 赤外レーザビーム屈折の理論

金田 寛1、大村 一郎1 (1.九工大院工)

キーワード:シリコン、キャリアライフタイム、パワーデバイス