[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-H113-2] ヴォロンコフモデルへのコメント（１）ステージ1＆２

〇末澤 正志¹、飯島 嘉明¹、米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：ヴォロンコフモデル、フレンケル対、ショットキー欠陥

シリコン結晶中の成長欠陥に関するヴォロンコフモデルは、熱平衡点欠陥がフレンケル対であると仮定している。しかし、前の講演で示したように、それはショットキー欠陥である。ヴォロンコフのやり方で、ショットキー欠陥の場合のステージ１＆２を考察した結果を示す。