[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-H113-3] ヴォロンコフモデルへのコメント（２）：不純物効果

〇末澤 正志¹、飯島 嘉明¹、米永 一郎¹ (1.東北大金研)

キーワード：ヴォロンコフモデル、不純物効果、成長速度

ヴォロンコフとファルスターはシリコン中の成長欠陥への不純物の影響を、それが熱平衡空孔濃度を変えることに限定して考察した。一方、我々の急冷実験によれば空孔の形成エネルギーは添加不純物に強く依存する。前の講演で示したショットキー欠陥の場合のステージ１に関する考察を用いて、不純物が成長速度に及ぼす効果を議論する。