[20a-H113-1~12] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-H113-7] 箱庭法による半導体諸物性値の算出 -第一原理計算と熱統計力学をベースに-

神山 栄治^1,2、〇末岡 浩治¹ (1.岡山県立大情報工、2.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：第一原理計算、熱統計力学、不純物