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[20a-H113-8] Si結晶中の低濃度炭素の赤外吸収測定
(Ⅷ) 第二世代技術による1014 cm−3台の測定とSIMS,放射化
キーワード:シリコン結晶、赤外、炭素濃度
Si結晶中の低濃度炭素測定について、極低濃度試料の探索を続け1014 cm−3台前半を入手できて巡回測定に使えるようになった。ブロックゲージと標準的な赤外測定ルーチン、以前の巡回試料などを世界の主要な関連機関に提供し、測定スペクトルを詳細に検討して有効性を確かめ装置や測定・解析手続きなどの課題を抽出した。新たに各機関が作製する試料の評価や巡回測定のサポートにより5×1014 cm−3前後までの新金協での赤外・SIMS・放射化の規格化と参照試料や標準試料の普及を進めると共に、さらに計画に従って1×1014cm−3前後までの規格化の準備と、1013 cm−3台の測定法の確立をめざしている。