[20a-S222-1~11] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [20a-S222-1] 飛来粒子定量分析による反応性プラズマ蒸着Ga添加ZnO薄膜の成膜因子の解明

〇北見 尚久¹、酒見 俊之¹、野本 淳一²、牧野 久雄^2,3、青木 康¹、加藤 隆典¹、山本 哲也² (1.住友重機械、2.高知工科大総研、3.高知工科大システム工)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、プラズマ診断