[20a-S222-1~11] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[20a-S222-5] 多結晶AZO透明導電膜のキャリア輸送に対する結晶粒界の影響(Ⅲ)

〇宇於崎 涼介¹、渡辺 恭輔¹、池永 訓昭¹、宮田 俊弘¹、南 内嗣¹ (1.金沢工大　OEDS R&D センター)

キーワード：ZnO

薄膜太陽電池用透明電極等に利用可能な多結晶ZnO:Al(AZO)透明導電膜の電気伝導機構は未だ十分に解明されていない．今回は，Al含有量を固定して成膜方法及び成膜条件を変化させて作製したAZO薄膜の透過型電子顕微鏡(TEM)による微細構造分析及びX線回析（XRD）を用いて評価した結晶粒界とキャリア散乱機構との関係について検討したので報告する．