[20a-S423-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-S423-5] 高効率静電型エレクトレットMEMS変圧器の設計

〇鈴木 雅人¹、森山 喬史¹、橋口 原¹ (1.静岡大学)

キーワード：変圧器、MEMS、エレクトレット

これまでに3端子櫛歯構造のMEMSにカリウムを混入したSiO₂エレクトレット膜を組み合わせ、静電型の変圧器を製作し入力電圧が昇圧することを確認した。
今回は、3端子櫛歯構造の動作行列表現から昇圧率、効率などの式を導出し、高効率で変圧可能なデバイスの設計を行った。その結果、共振周波数においてほぼ100%の変圧が可能であるという結果を得た。また、実際にデバイスを製作しその評価結果についても講演する予定。