[20a-S423-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-S423-6] スペース赤外線望遠鏡における波面補正のための極低温用可変形鏡の開発：実証実験について

〇(M2)高橋 葵¹、塩谷 圭吾²、櫨 香奈恵²、Paul Bierden³、Steven Cornelissen³、Charlie Lam³、Michael Feinberg³ (1.総研大、2.JAXA宇宙研、3.BMC)

キーワード：可変形鏡、MEMS、スペース望遠鏡

スペース赤外線望遠鏡では、形状誤差を持つ鏡面で反射された光に波面誤差が発生し、結像性能が悪化する。そこで我々は小型の可変形鏡（DM）を光学系に追加し打ち上げ後に軌道上で波面補正をすることを提案している。ただし、従来のDMはスペース赤外線望遠鏡の冷却温度下では使えないため、我々は特別な基板設計を持つ1024素子の静電MEMS式DMを開発した。本講演では、極低温(〜5K)での使用を想定した動作実証実験について述べる。