[20a-S423-1~9] 13.4 Si wafer processing /Si based thin film /MEMS/Integration technology

[20a-S423-7] Microfluidic-based arraying of micro rectangular components

〇(M1)Yoshiyuki Okada¹, kentaro kawai¹, kenta arima¹, mizuho morita¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:microchannel

フレキシブルディスプレイ実現のため、薄膜トランジスタ(TFT)を単結晶シリコン基板で作製し、ディスクリート化してフレキシブル基板上に整列する手法が提案されている。我々はマイクロ流路を用いて、35μmの立方体微細素子を125μm間隔で角度を揃えてアレイ化することに成功した。今後素子の上下を制御することでTFTの配列に応用できると考えている。