4:00 PM - 4:15 PM
[20p-H137-11] Consideration on Application of Ionic Liquid EMIM-DCA Ion Beams for Surface Modification
Keywords:carbon nitride,low damage,metal-free
RBS/Cの結果から, 加速電圧4kV, 照射量 1 × 1015 ions/cm2 においては DCA− イオン照射はGa+ に比べ NDAが約50%低いことがわかった. またラマン分光スペクトルから, 作製した薄膜はいずれもG バンド, D バンドが観測されており, DLC 薄膜と同様のアモルファス構造を有すると考えられる. 加速電圧 0.1 kV, 基板温度 300 C◦で最もGバンドの強度が高くなっており, この薄膜ではグラファイ ト同様の層状構造がより多く含まれていると推察される.