[20p-S611-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-S611-17] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡とC-V測定によるパッシベーション膜特性の比較評価

〇伊藤 明¹、望月 敏光³、中西 英俊¹、棚橋 克人³、川山 巌²、斗内 政吉²、白澤 勝彦³、高遠 秀尚³ (1.SCREEN、2.阪大レーザー研、3.産総研)

キーワード：太陽電池、テラヘルツ波、フェムト秒レーザー