[20p-W641-1~9] 誘電体・強誘電体材料評価・解析技術の最先端

[20p-W641-8] 誘電体材料の信頼性評価法

〇安藤 陽¹ (1.村田製作所)

キーワード：誘電体、信頼性、酸素欠陥

IoTの進展とともに、電子部品にはより一層の小型化高集積化が求められるとともに、多様な環境下での使用に耐えうる高信頼性が求められる。MLCC（積層セラミックキャパシタ）に代表される誘電体応用デバイスにおいても信頼性をいかに向上させていくかが大きな課題となっており、それを評価する手法の重要性が増している。本講演ではKFM（Kelvin probe force microscopy）を用いた誘電特性劣化のメカニズム解析や、TSDC(Thermally Stimulated Depolarization Current)法やDLTS（Deep Level Transient Spectroscopy）を用いた誘電体の信頼性に関わる基礎物性の評価事例について紹介する。