[21a-H101-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21a-H101-2] ウェット酸化により形成したSiO₂/4H-SiCの電子状態評価 (II)

〇渡辺 浩成¹、大田 晃生¹、藤村 信幸¹、牧原 克典¹、宮崎 誠一¹ (1.名古屋大学)

キーワード：4H-SiC、XPS