[21a-H101-1~11] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21a-H101-3] 光電子回折によるSiC(000-1)/SiO₂界面の窒素の局所構造解析

〇森 大輔¹、広瀬 隆之¹、大山 悦輝²、松井 文彦² (1.富士電機株式会社、2.奈良先端大)

キーワード：SiC、界面