[21a-H103-1~10] 6.4 薄膜新材料

[21a-H103-2] RFスパッタ法により形成したPr+Ce酸化物膜の結晶性評価

〇熊谷 健大¹、山口 航太¹、高畑 潤一郎¹、鈴木 摂²、石橋 啓次²、山本 康博¹ (1.法政大理工、2.（株）コメット)

キーワード：スパッタリング、プラセオジム、セリウム