[21a-H103-1~10] 6.4 薄膜新材料

△ [21a-H103-7] 塗布光照射法における酸化スズ膜結晶化過程のナノ秒温度計測

〇(M1)勝木 司¹、中島 智彦²、土屋 哲男²、湯本 敦史¹、篠田 健太郎² (1.芝浦工大院理工、2.産総研)

キーワード：酸化物、化学溶液法、エキシマレーザー