[21a-S222-1~12] 21.1 Joint Session K

[21a-S222-9] Growth of In₂O₃ by Halide Vapor Phase Epitaxy

〇Shiyu Numata¹, Rie Togashi¹, Ken Goto², Hisashi Murakami¹, Akito Kuramata², Shigenobu Yamakoshi², Yoshinao Kumagai¹ (1.Tokyo Univ. of Agri. and Tech., 2.Tamura Corp.)

Keywords:In2O3,HVPE,Thermodynamic analysis

酸化インジウムは高い可視光透過性と高い伝導性を有することから透明導電膜材料として注目を集めている材料である。今回、我々のグループでは大気圧での成長が可能、高純度結晶が得られるという期待からハライド気相成長(HVPE)法を採用し、In₂O₃成長を試みた。熱力学解析の結果を受けて原料にはInClとO₂を選択し、HVPE法によりIn₂O₃結晶を得ることに成功した為、その結果を報告する。