2016年第63回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[21p-H103-1~21] 6.4 薄膜新材料

2016年3月21日(月) 13:15 〜 19:00 H103 (本館)

遠藤 民生(岐阜大)、名村 今日子(京大)、永田 知子(日大)

16:00 〜 16:15

[21p-H103-11] プローバーコンパチ非破壊電気コンタクトプローブ

吉武 道子1、柳生 進二郎1、知京 豊裕1 (1.物質・材料研究機構)

キーワード:極薄膜、非破壊、電気測定

試料を破壊せずに簡便に電気コンタクトを形成する方法を開発し、そのコンタクトプローブが市販のプローバーの同軸ケーブルに脱着可能な構造を開発し、電圧を印加する用途のみならず正確な電気特性測定に用いることができるようにした。