[21p-H137-1~22] 7.2 電子ビーム応用

[21p-H137-7] 噴水型低エネルギー二次電子検出器による金属合金の観察

〇関口 隆史¹、木村 隆¹、岩井 秀夫¹ (1.物材機構)

キーワード：噴水検出器、走査電子顕微鏡、二次電子

我々は、走査電子顕微鏡（SEM）のアウトレンズ領域に設置するLow-pass二次電子検出器を開発し、これを噴水検出器（Fountain Detector）と名付けた。この検出器は、試料から上方に出射した二次電子を、対物レンズ下に置いたグリッドの負電界で反射させ、試料台の下に設置した検出器に導く構造である。この検出器の特徴は、電子の軌道を簡単な放物線として記述できるため、補足する電子の方向とエネルギーの範囲を正確に把握できるところにある。[1]
今回、本装置を用いて、Cu-Al合金、Ag-Sn合金を観察したので報告する。